Nassverfahren

Klassische Reinigungsmittel sind flüssige Lösungsmittel oder ätzende Laugen und Säuren. Gereinigt wird meist in Tauchbecken. Oft kommen mechanische Verfahren unterstützend hinzu. In gleicher Weise erfolgt die Oberflächenätzung. Vorteil der Nassverfahren ist eine relativ hohe Geschwindigkeit der Reinigung und hohe Ätzrate. Die Reinigungs- und Ätzflüssigkeiten sind jedoch ausnahmslos umwelt- und gesundheitsschädlich und es sind aufwendige und teure Verfahren für Lagerung, Handhabung und Entsorgung zu beachten. Die nasschemischen Verfahren erfordern außerdem Nachbearbeitungsaufwand für die Entfernung der Chemikalien und Trocknung. Diese Nachteile entfallen vollständig bei trockenchemischen Plasmaverfahren. Besonders vorteilhaft ist außerdem, das im Niederdruckplasma auch in kleinsten Spalten und Hinterschneidungen eine vollständige Reinigung und Ätzung erfolgen kann, das praktisch atomlagengenau gearbeitet und auch feinste Rückstände vollkommen entfernt werden können. Allerdings sind die Ätzraten bei trockenchemischen Verfahren generell geringer als bei Nassverfahren. Wenn große Schichtdicken zu entfernen sind, müssen deshalb oft ergänzend Nassverfahren eingesetzt werden.