Мокрые методы

плазма низкого давления обеспечивает полную очистку и травление даже в самых узких зазорах и полостях. Она работает практически на атомарном уровне и удаляет мельчайшие следы посторонних субстанций. К сожалению, скорость травления у сухих методов всегда ниже, чем при использовании жидких средств. Для удаления достаточно толстых слоев во многих случаях требуется дополнительная обработка.