Холодная плазма

плазма связана с очень высокими температурами. Это обусловлено протеканием тока, в том числе при создании плазмы посредством газового разряда. Если газ ионизируется электромагнитными ВЧ-полями, плазма остается холодной или нагревается незначительно. «Горячими» в холодной плазме являются только свободные электроны, которые благодаря малой массе могут следовать частоте высокочастотного поля. Тяжелые атомы, ионы и радикалы для этого слишком инертны и поэтому под действием ВЧ-возбуждения едва меняют свое движение, которым определяется температура.