Glossaire de la technologie de surface

Plasma froid

Dans la nature (étoiles, éclairs), le plasma est associé à des températures très élevées. Des températures élevées sont également générées par le flux de courant, lors de la génération de plasma par décharge de gaz. Lorsqu'un gaz est ionisé par des champs électromagnétiques HF, le plasma reste froid ou seulement légèrement chauffé. « Chauds » dans le plasma froid ne sont que les électrons libres, qui peuvent suivre la fréquence du champ à haute fréquence en raison de leur faible masse. Les atomes, ions et radicaux lourds sont trop inertes pour cela et ne changent donc guère leur mouvement, qui détermine la température, pendant l'excitation HF.

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