ESCA

Abk. für "Electron Spectroscopy for Chemical Analysis", eine auch als IEE (Induced Electron Emission) od. XP(E)S (X-Ray induced Photoelcetron Spectroscopy = Röntgen-Photoelektronenspektroskopie) bezeichnete Technik, mit der Bindungszustände analysiert werden können. Die Bestimmung von Oxidationszuständen, wobei alle Elemente außer Wasserstoff und Helium analysierbar werden, ist das Beispiel für die ESCA-Anwendung zur Analyse von Probenoberflächen.