Глоссарий технологии обработки поверхностей
ESCA
Сокращение от «Electron Spectroscopy for Chemical Analysis». Технология, называемая также IEE (Induced Electron Emission) или XP(E)S (X-Ray induced Photoelcetron Spectroscopy = рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия) и позволяющая анализировать состояния связей. ESCA применяется прежде всего для анализа поверхностей проб (напр., для определения состояний окисления), причем возможен анализ любых элементов, за исключением водорода и гелия.