Parylene P260

Установка для нанесения париленовых покрытий

Парилен – это краткое обозначение полимерной группы поли(пара-ксилиленов). Полимеры состоят из замещенных разными способами пара-ксилиленов. Базой для нанесения покрытий являются димеры. Это молекулярная связка, состоящая из двух идентичных субблоков – так называемых мономеров.

Париленовые покрытия обладают целым рядом преимуществ. Парилены ...

  • при нанесении точно адаптируются даже к сложным контурам субстратов – острым кромкам, сквозным и глухим отверстиям.
  • не имеют пор, просветов и пропусков уже начиная с толщины слоя прибл. 0,5 мкм.
  • химически нерастворимы и устойчивы к большому количеству химикатов.
  • обладают очень хорошими барьерными свойствами по отношению к влаге и химикатам.
  • имеют высокую электрическую прочность на пробой.
  • обладают свойствами сухой смазки (низкий коэффициент трения).
  • обладают гидрофобными свойствами : контактный угол H2O от 92° до 98°.
  • прозрачны в области 90% - 96% в видимом диапазоне волны (в зависимости от типа).
  • биосовместимы: возможно осаждение париленов типов C и N, сертифицируемых по USP Class VI, ISO 10993 и FDA.

Технические характеристики

Материал покрытия

  • Parylene N, C, D, F-VT4, F-AF4

Возможная толщина слоя

  • От 0,05 до 100 мкм

Размеры

  • Ширина ок. 2600 мм
  • Глубина ок. 1000 мм
  • Высота ок. 2000 мм

Пиролиз

  • 4 кВт / макс. 850 °C

Камера

  • Диаметр: 640 мм
  • Высота: 800 мм

Карусель

  • Диаметр: 560 мм
  • Высота: 650 мм

Холодная ловушка

  • Жидкий азот

Насосная система

  • Двухступенчатый пластинчатый насос

Производительность

  • 1800 м3/ч

Конечное давление

  • 1 x 10-3 мбар

Система управления

  • Компьютерная система управления с ОС Windows

Сжатый воздух

  • 6 бар, без масла и сухой 

Присоединения

  • 3 фазы/400 В/32 A/50-60 Гц

Отходящий воздух

  • Шланг 42 мм 

Опции

Нагревательная рубашка для улучшения осаждения Parylene D
Теплообменник для улучшения осаждения Parylene N и F
НЧ-генератор для предварительной обработки
Система испарения силанов 
Толщиномер

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете