Глоссарий технологии обработки поверхностей
Анодная приварка
полупроводниковой, сенсорной и микросистемной технике для неразъемного соединения двух очень гладких пластин, помещаемых в очень тесный контакт. Одна из пластин должна состоять из полупроводникового материала (например, кремния). Вторая пластина может быть полупроводником или стеклянной пластиной.