Глоссарий технологии обработки поверхностей
Деполимеризация
полимеризации процесс на пластмассах, вызванный повышением температуры (температурный съем). При распаде из различных полимеризатов на поверхности возникают их первоначальные мономеры или другие продукты разложения. Также при плазменной очистке и травлении выполняется деполимеризация до мономерного состояния. Продукты распада реагируют с активными частицами технологического газа , образуя летучие молекулы.