Деполимеризация
полимеризации процесс на пластмассах, вызванный повышением температуры (температурный съем). При распаде из различных полимеризатов на поверхности возникают их первоначальные мономеры или другие продукты разложения. Также при плазменной очистке и травлении выполняется деполимеризация до мономерного состояния. Продукты распада реагируют с активными частицами технологического газа , образуя летучие молекулы.