
Lexikon der Oberflächentechnik
Oberflächen modifizieren
Eine der wichtigsten Modifizierungen der Oberflächeneigenschaften durch die Plasmatechnik ist die ⇒Veränderung der Oberflächenspannung
Sehr wichtig sind die Effekte der Oberflächenbehandlung durch Ätzen:
- Durch chemisches Plasmaätzen oder durch Mikrosandstrahlen erzielt man eine Oberflächenvergrößerung und damit eine weitere Verbesserung der Hafteigenschaften
- Durch anisotropes Ätzen (⇒Ionenätzen, ⇒RIE) werden Strukturierungen im Bereich der Halbleiterelektronik durchgeführt.
Durch Plasmabeschichtung können Oberflächen mit neuartigen Eigenschaften aufgebracht werden:
- Schutzschichten beispielsweise auf elektronischen Schaltungen
- Kratzfeste DLC-Schichten beispielsweise auch CD
- Verschleißfeste Getriebebauteile
- wasserabstoßende PTFE- oder HMDSO-Beschichtungen

