Lexikon der Oberflächentechnik

Oberflächen modifizieren

Eine der wichtigsten Modifizierungen der Oberflächeneigenschaften durch die Plasmatechnik ist die ⇒Veränderung der Oberflächenspannung

Sehr wichtig sind die Effekte der Oberflächenbehandlung durch Ätzen:

  • Durch chemisches Plasmaätzen oder durch Mikrosandstrahlen erzielt man eine Oberflächenvergrößerung und damit eine weitere Verbesserung der Hafteigenschaften
  • Durch anisotropes Ätzen (⇒Ionenätzen, ⇒RIE) werden Strukturierungen im Bereich der Halbleiterelektronik durchgeführt.

Durch Plasmabeschichtung können Oberflächen mit neuartigen Eigenschaften aufgebracht werden:

  • Schutzschichten beispielsweise auf elektronischen Schaltungen
  • Kratzfeste DLC-Schichten beispielsweise auch CD
  • Verschleißfeste Getriebebauteile
  • wasserabstoßende PTFE- oder HMDSO-Beschichtungen

Verfahren der Oberflächenaktivierung im Video

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