Модификация поверхностей

⇒изменение поверхностного натяженияОчень важны эффекты обработки поверхностей травлением:

• За счет химического плазменного травления или путем микропескоструйной обработки можно увеличить площадь поверхности и создать условия для улучшения адгезии
• Неизотропное травление (⇒ионное травление, ⇒RIE) позволяет осуществлять структурирование в области полупроводниковой электроники.

С помощью плазменного нанесения покрытий можно создавать поверхности с новыми свойствами:

• Защитные слои, например на электронных схемах
• Устойчивые к царапинам DLC-слои, например на компакт-дисках
• Износостойкие покрытия на деталях передаточных механизмов
• Водоотталкивающие покрытия на базе PTFE и HMDSO