Обработка поверхностей

очистка, шерохование, активация, травление, полировка, структурирование, окисление, воронение, закалка, нанесение покрытий.
В свою очередь, нанесение покрытий охватывает такие методы, как
окрашивание, нанесение печати, ламинирование, склеивание, нанесение защитных слоев (DLC, HMDSO), обработка фоторезистом, окисление, гидрофобныеи гидрофильные слои. Для большинства из этих эффектов доступны механические или жидкостные химические процессы. Плазменные методы тоже доступны для всех указанных случаев, причем зачастую они обладают значительными преимуществами или являются единственным технически обоснованным решением. С помощью плазменных процессов можно прежде всего обрабатывать очень узкие зазоры и крайне малые полости, действуя на атомарном уровне. Особое преимущество сухой обработки в плазме заключается в отказе от дорогостоящих операций транспортировки, хранения и утилизации опасных химикатов.