Oberflächenbehandlung

Oberflächenbehandlung umfasst alle Verfahren und Prozesse, welche die folgenden Wirkungen betreffen:
Reinigen, Aufrauen, Aktivieren, Ätzen, Polieren, Strukturieren, Oxidieren, Brünieren, Härten, Beschichten.
Der Begriff Beschichten wiederum umfasst eine Vielzahl von Verfahren wie
Lackieren, Bedrucken, Laminieren, Kleben, Schutzschichten aufbringen (DLC, HMDSO), Fotolack, Oxidieren, hydrophobe, hydrophile Schichten.

Für die meisten dieser Wirkungen stehen mechanische oder nasschemische Prozesse zur Verfügung. Es stehen aber in allen Fällen auch Plasmaverfahren zur Verfügung, die oftmals erhebliche Vorteile haben oder die einzige praktikable technische Lösung sind. Durch Plasmaprozesse können vor allem engste Hohlräume und Spalten beschichtet werden, atomlagengenaue Wirkungen erzielt werden. Ein besonderer Vorteil der trockenen Behandlung im Plasma ist der Verzicht auf die aufwendigen und teuren Verfahren bei Transport, Lagerung, Handhabung und Entsorgung von gefährlichen Chemikalien.