Vacío
Un vacío técnico no es en absoluto un espacio sin materia, sino un volumen de gas a presión reducida, caracterizado por grandes recorridos libres de las partículas de materia antes de que choquen con otras partículas. Mientras que, a presión atmosférica, el recorrido libre medio hasta un choque con otras partículas sigue siendo inferior a 1 µm, en vacío medio, por debajo de 10–3 mbar, dicho recorrido supera los 10 cm, lo que significa que muchas partículas no sufren choque alguno dentro de las dimensiones de una cámara de vacío. En consecuencia, las especies activas de un plasma de baja presión pueden llenar el volumen total de un recipiente sin que se produzca neutralización o recombinación por impactos.