Vide

Un vide technique n'est pas du tout un espace sans matière, mais un volume de gaz à faible pression, caractérisé par de grandes distances libres des particules de matière avant que des collisions avec d'autres particules ne se produisent. Alors qu'à la pression atmosphérique, la longueur moyenne du trajet libre jusqu'à l'impact avec d'autres particules est encore inférieure à 1 µm, dans un vide de précision inférieur à 10-3 mbars, elle est supérieure à 10 cm, ce qui signifie que de nombreuses particules dans les dimensions d'une chambre à vide ne subissent aucun impact.  Cela signifie que les espèces actives d'un plasma basse pression peuvent remplir le volume total d'un récipient sans neutralisation ou recombinaison due à des collisions.

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