Vuoto

Un vuoto tecnico non è affatto uno spazio privo di materia, ma un volume di gas a bassa pressione, caratterizzato da grandi distanze libere tra le particelle di materia prima delle collisioni con altre particelle. Mentre a pressione atmosferica la lunghezza media del percorso libero per l'urto con altre particelle è inferiore a 1 µm, in un vuoto fine inferiore a 10^-3 mbar è superiore a 10 cm; questo significa che molte particelle all'interno di una camera a vuoto non subiscono alcun impatto.  Ciò consente alle specie attive di un plasma a bassa pressione di riempire l’intero volume di un recipiente senza neutralizzazione o ricombinazione dovuta a collisioni.