
Глоссарий технологии обработки поверхностей
Вакуум
-3 мбар пробег уже превышает 10 см. Это означает, что в пределах вакуумной камеры многие частицы перемещаются без взаимных столкновений. Активные частицы плазмы низкого давления могут заполнять весь объем реципиента без столкновений, ведущих к нейтрализации или рекомбинации.