Glossaire de la technologie de surface
Électrode
Une électrode est un composant conducteur chargé électriquement. Entre l'électrode et les conducteurs électriques d'une autre charge, généralement une deuxième électrode, un champ électrique se forme. Le plasma technique est également excité par ces champs électriques, bien qu'une distinction doive être faite entre :
- Électrodes à haute tension, générant des champs locaux d'une intensité telle qu'un plasma est généré par décharge de gaz comme dans la génération d'un corona ou d'un plasma à pression atmosphérique.
- Électrodes haute fréquence utilisées pour exciter un plasma par des champs alternatifs haute fréquence. À des fréquences d'excitation entre kilohertz et gigahertz, un plasma peut être généré dans le vide à des intensités de champ inférieures. Ceci permet de générer des plasmas homogènes même en grandes quantités.