Глоссарий технологии обработки поверхностей
Электрод
плазма , причем различают следующие типы электродов:
- Высоковольтные электроды, создающие настолько высокую локальную напряженность поля, что плазма возникает под действием газового разряда ; это случаи короны и плазмы атмосферного давления.
- Высокочастотные электроды, используемые для возбуждения плазмы высокочастотными переменными полями. При частотах возбуждения от килогерцового до гигагерцового диапазона возможно создание плазмы в вакууме при незначительной напряженности поля. Таким способом можно создавать однородную плазму, в том числе в больших объемах.