Nitruro di titanio
Il nitruro di titanio TiN è uno strato superficiale ad alta durezza usato frequentemente per aumentare la robustezza e la durata degli utensili, in particolare quelli per la lavorazione dei metalli. I rivestimenti in nitruro di titanio si contraddistinguono per il colore giallo dorato. A causa della difficoltà di produzione della sinterizzazione, i componenti in nitruro di titanio solido vengono prodotti raramente. Esistono diverse possibilità di produzione del TiN:
- Il titanio può essere direttamente nitrurato al plasma in atmosfera di idrogeno/azoto.
- I rivestimenti di TiN possono essere prodotti mediante rivestimento al plasma in un'atmosfera di tetracloruro di titanio, idrogeno e azoto, il cui prodotto di reazione, oltre al titanio, è l'acido cloridrico.
- Nel processo PVD si possono realizzare gli strati sottili mediante sputtering . Il gas di processo è una miscela di azoto e argon. Come target si utilizza una piastra in titanio. Il bombardamento degli ioni di argon provoca il rilascio degli atomi di titanio, che si depositano sul substrato insieme agli atomi di azoto del gas di processo.
