Глоссарий технологии обработки поверхностей
Нитрид титана
- Непосредственное плазменное азотирование титана в водородной/кислородной атмосфере.
- Покрытия из TiN можно создавать плазменным нанесением покрытий в атмосфере, состоящей из четыреххлористого титана, водорода и азота. В качестве продукта реакции наряду с TiN возникает соляная кислота.
- Тонкие слои могут создаваться PVD-методами посредством ионно-плазменного распыления. Технологический газ – смесь азота и аргона. В качестве мишени используется титановая пластина. Атомы титана высвобождаются под действием бомбардировки ионами аргона и вместе с атомами азота из технологического газа оседают на субстрате.
