Нитрид титана

  • Непосредственное плазменное азотирование титана в водородной/кислородной атмосфере.
  • Покрытия из TiN можно создавать плазменным нанесением покрытий в атмосфере, состоящей из четыреххлористого титана, водорода и азота. В качестве продукта реакции наряду с TiN возникает соляная кислота.
  • Тонкие слои могут создаваться PVD-методами посредством ионно-плазменного распыленияТехнологический газ – смесь азота и аргона. В качестве мишени используется титановая пластина. Атомы титана высвобождаются под действием бомбардировки ионами аргона и вместе с атомами азота из технологического газа оседают на субстрате.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете