Fluoro
Il fluoro è l'elemento chimico con il numero atomico 9 e appartiene al gruppo degli alogeni. Allo stato puro è un gas diatomico F2. Tuttavia, in natura non si presenta allo stato puro, ma solo in combinazione con altri elementi, per lo più in forma minerale. Il fluoro è un elemento estremamente reattivo. Si tratta di conseguenza di una sostanza estremamente tossica, che reagisce in modo fortemente aggressivo nell'organismo ed è quindi altamente corrosiva. Ne consegue peraltro che molti composti con fluoro sono estremamente stabili e di fatto non reagiscono con altre sostanze. Ciò è dimostrato, ad esempio, dall'insolubilità praticamente totale del PTFE e di altri composti del fluoro e dalla completa inerzia di gas quali il tetrafluorometano CF4 e l’esafluoruro di zolfo SF6. I composti del fluoro sono sostanze importanti nella tecnologia del plasma: sebbene le suddette sostanze non reagiscano di fatto chimicamente, sono in grado di farlo nel plasma attraverso la formazione di radicali. La radiazione ultravioletta scioglie anche i legami C-F,
dando luogo a radicali del fluoro che rendono CF4 e SF6 gas di acidatura particolarmente efficaci, in particolare per il silicio, con formazione di fluoruro di silicio SiF4. In questo modo, i radicali del fluoro possono anche essere separati dal PTFE, che reagisce con i radicali nel plasma di idrogeno per formare fluoruro di idrogeno HF. Sul PTFE rimangono punti di radicali che lo rendono bagnabile e aderente. D'altra parte, mediante la polimerizzazione al plasma dei fluorocarburi si possono produrre strati simili al PTFE e quindi rivestimenti superidrofobici ed epilamici. Nel plasma, i contenitori possono essere rivestiti con strati di fluoruro per formare strati barriera contro la permeazione di molti liquidi come la benzina.
