Фтор

₂. В природе он не встречается в чистой форме, а существует только в соединении с другими элементами, в большинстве случаев в минеральной форме. Фтор является чрезвычайно активным элементом. Из этого следует, что он крайне ядовит из-за очень сильной реакции в теле и мощного разъедающего действия. С другой стороны, многие соединения с хлором крайне стабильны, поэтому практически не реагируют с другими субстанциями. Это проявляется, например, почти полной нерастворимостью PTFE и других фтористых соединений и полной реакционной инертностью таких газов, как тетрафторметан CF₄ и гексафторид серы SF₆. Фтористые соединения являются очень важными субстанциями в плазменной технике: Упомянутые выше субстанции практически не вступают в химические реакции, но под действием образования радикалов в плазме становятся вполне способными к реакции. УФ-излучение разрывает в том числе C-F-соединения.
Возникают фтор-радикалы, благодаря которым CF₄ и SF₆ очень эффективны при травлении, в особенности кремния (возникает фторид трения SiF₄). От PTFE также отщепляются фтор-радикалы, реагирующие с радикалами в водородной плазме и образующие фтороводород HF. На PTFE остаются участки радикалов, которые делают PTFE смачиваемым и пригодным к склеиванию. С другой стороны, посредством плазменной полимеризации фторуглеродов можно создавать PTFE-подобные слои, т.е. супергидрофобные и эпиламныепокрытия. На емкости можно наносить плазмой фтористые слои, формирующие барьерные слои от пермеации многих жидкостей, например бензина.