Glosario de tecnología de superficies
Alimentación de gas
El gas del proceso se toma de una bombona de gas o bien de un vaporizador en el caso de los medios que se encuentran en estado líquido a presión atmosférica. La alimentación de gas se regula con precisión por medio de una válvula de aguja. La alimentación de gas debe ser tan reducida que, por un lado, se cumpla el nivel de presión requerido y, por otro, se cuente con suficientes especies activas para lograr una velocidad del proceso adecuada.