Alimentazione di gas

Il gas di processo è fornito da una bombola di gas o, nel caso di sostanze allo stato liquido a pressione atmosferica, da un vaporizzatore. L'alimentazione del gas viene controllata con precisione tramite una valvola a spillo. L'alimentazione del gas deve essere sufficientemente bassa per mantenere il livello di pressione richiesto e deve essere presente specie attiva sufficiente per raggiungere una velocità di processo adeguata.