Gaszufuhr

Prozessgas wird aus einer Gasflasche oder, bei Medien, die bei Atmosphärendruck als Flüssigkeit vorliegen, aus einem Verdampfer zugeführt. Die Gaszufuhr wird über ein Nadelventil präzise geregelt. Die Gaszufuhr muss so gering sein, dass das erforderliche Druckniveau eingehalten wird und dass andererseits genügend Aktive Spezies vorhanden sind, um eine ausreichende Prozessgeschwindigkeit zu erreichen.