Подача газа

Технологический газ подаются из газового баллона. В случае со средами, находящимися в жидком состоянии при атмосферном давлении, подача осуществляется из испарителя. Подача газа точно регулируется игольчатым клапаном . Газ должен подаваться в настолько малом количестве, чтобы соблюдался требуемый уровень давления, но, с другой стороны, имелось достаточное количество активных частиц для достижения необходимой скорости процесса.