Rootspumpe
Eine Pumpe zur Erzeugung von Feinvakuum ist die Rootspumpe, die entsprechend ihrer Arbeitsweise auch Wälzkolbenpumpe genannt wird. Ihr besonderer Vorteil ist, dass sie im Gegensatz zur Drehschieberpumpe ölfrei arbeitet. Sie ist deshalb auch zur Förderung aggressiver Medien geeignet. Allerdings können Rootspumpen nicht effektiv gegen Atmosphärendruck arbeiten und benötigen deshalb selbst eine Vorvakuumpumpe, beispielsweise eine Drehschieberpumpe zur Erzeugung eines Grobvakuums auf der Auslassseite. Zweistufige Rootspumpen können hingegen auf die Vorvakuumpumpe verzichten und außerdem Drücke bis in den Hochvakuumbereich (10-4 bar) erzeugen.