Couleur du plasma
La couleur d'un plasma résulte de l'émission d'atomes, ions ou molécules excités énergétiquement pendant la relaxation dans des états énergétiques plus faibles. Vu que les niveaux d'énergie dans chaque gaz ont des transitions d'énergie différentes, chaque gaz de traitement présente des émissions caractéristiques différentes et donc des couleurs caractéristiques différentes. Les couleurs typiques de certains gaz fréquemment utilisés dans les processus plasma sont les suivantes :
CF4 : bleu
SF6 : bleu pâle
SiF4 : bleu clair
SiCl4 : bleu clair
Cl2 : vert pâle
CCl4 : vert pâle
H2 : rose
O2 : blanc bleuâtre
N2 : rouge à jaune
Br2 : rougeâtre
He : rouge à violet
Ne: rouge brique
Ar : rouge foncé.
La couleur du plasma peut être utilisée non seulement pour détecter le gaz de traitement, mais aussi pour estimer qualitativement si le gaz de traitement est exempt d'impuretés.
