Farbe des Plasmas

Die Farbe eines Plasmas kommt zu Stande durch Emission aus energetisch angeregten Atomen, Ionen oder Molekülen bei der Relaxation in energieärmere Zustände. Da die Energieniveaus in jedem Gas unterschiedliche Energieübergänge aufweisen, zeigt jedes Prozessgas unterschiedliche charakteristische Emissionen und folglich unterschiedliche charakteristische Farben. Die typischen Farben einiger häufig in Plasma-Prozessen verwendeten Gase sind Folgende:

CF₄: blau
SF₆: blassblau
SiF₄: hellblau
SiCl₄: hellblau
Cl₂: blassgrün
CCl₄: blassgrün
H₂: rosa
O₂: weiß bläulich
N₂: rot bis gelb
Br₂: rötlich
He: rot bis violett
Ne: ziegelrot
Ar: dunkelrot

Die Farbe des Plasmas kann nicht nur zur Erkennung des Prozessgases genutzt werden, sondern auch zur qualitativen Abschätzung, ob das Prozessgas frei von Verunreinigungen ist.

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