Colore del plasma
Il colore viene conferito al plasma per effetto dell'emissione di atomi, ioni o molecole eccitati energicamente durante il rilassamento in stati a bassa energia. Poiché i livelli energetici di ogni gas presentano differenze di transizione energetica, ogni gas di processo ha emissioni caratteristiche e di conseguenza colori caratteristici diversi. I colori tipici di alcuni gas frequentemente utilizzati nei processi al plasma sono i seguenti:
CF4: blu
SF6: blu pallido
SiF4: azzurro
SiCl4: azzurro
Cl2: verde pallido
CCl4: verde pallido
H2: rosa
O2: bianco bluastro
N2: da rosso a giallo
Br2: rossastro
He: da rosso a viola
Ne: rosso mattone
Ar: rosso scuro.
Il colore del plasma può essere utilizzato non solo per identificare il gas di processo, ma anche per valutare qualitativamente se il gas di processo è privo di impurità.
