Микрофлюидные технологии

травлению плазмой , например в кремнии . Однако особое значение для микрофлюидных систем имеет материал PDMS (полидиметилсилоксан). Благодаря микроскопическим структурам на одном чипе можно размещать целые лаборатории с микроканалами, насосами, вентилями и микротитрами (Lab-on-Chip).