Recorrido libre medio

Recorrido medio que realiza una molécula de gas entre dos colisiones con otras moléculas de gas a temperatura y presión determinadas. En lo concerniente al establecimiento de un plasma, en caso de presión excesiva (recorrido libre insuficiente), los electrones y los iones no pueden adoptar la velocidad necesaria para los choques de ionización, mientras que, en caso de presión insuficiente (recorrido libre excesivo), no se produce el número necesario de choques de ionización para conservar el plasma. Además, el recorrido libre medio influye enormemente en la isotropía de los procesos de grabado: cuanto mayor sea la densidad, menor será el recorrido libre y más isotrópica (sin dirección) será la extracción de material. El recorrido libre medio de una partícula entre dos choques es de aproximadamente 10–7 m en caso de presión atmosférica (1000 mbar) y de 10 cm en el límite del vacío alto (10–3 mbar).

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