Percorso libero medio

Distanza media percorsa da una molecola di gas tra due collisioni con altre molecole di gas ad una data temperatura e pressione. Aspetto rilevante per la creazione di un plasma: se la pressione è troppo elevata (percorso libero troppo breve), gli elettroni e gli ioni non possono accumulare la velocità necessaria per gli urti di ionizzazione, mentre in caso di una pressione troppo bassa (percorso libero troppo lungo) non si producono sufficienti urti di ionizzazione per il mantenimento del plasma. La lunghezza media del percorso libero esercita inoltre una forte influenza sull'isotropia dei processi di acidatura: maggiore è la pressione, minore è la lunghezza del percorso libero, più isotropa (disorientata) è la rimozione del materiale. La lunghezza media del percorso libero di una particella tra due impatti è di circa 10^-7 m a pressione atmosferica (1.000 mbar) e di (10^-3 mbar) al limite dell' alto vuoto di 10 cm.