Longueur moyenne du trajet libre

Distance moyenne parcourue par une molécule de gaz entre deux collisions avec d'autres molécules de gaz à une température et une pression données. Important pour la formation d'un plasma : à une pression trop élevée (trajet libre trop faible), les électrons et ions ne peuvent pas établir la vitesse nécessaire aux coups d'ionisation, à une pression trop faible (trajet libre trop large), il n'y a pas suffisamment de coups d'ionisation pour maintenir le plasma. La longueur moyenne du trajet libre a en outre une forte influence sur l'isotropie des processus de gravure : plus la pression est élevée, plus la longueur du trajet libre est faible, plus l'enlèvement de matière est isotrope (non dirigé). La longueur moyenne du trajet libre d'une particule entre deux impacts est d'environ 10-7 m à la pression atmosphérique (1000 mbars) et de 10 cm à la limite du vide élevé (10-3 mbars).

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