Длина свободного пробега

плазмы: при слишком высоком давлении (малый свободный пробег) электроны и ионы не могут набрать скорость, необходимую для ионизирующих столкновений. При недостаточном давлении (слишком большой свободный пробег) не происходит достаточно много ионизирующих столкновений, чтобы поддерживать плазму. Длина свободного пробега также сильно влияет на изотропность процессов травления: чем выше давление, тем меньше свободный пробег, тем более изотропный характер (ненаправленный) носит процесс съема материала. Длина свободного пробега частицы между двумя столкновениями составляет при атмосферном давлении (1000 мбар) около 10^-7 м, а на границе с высоким вакуумом (10^-3 мбар) – около 10 см.