Fuentes para limpieza
FUENTES PARA LIMPIEZA CON PLASMA DE DIENER ELECTRONIC
La fuente para limpieza con plasma es un sistema opcional para limpiar gases emitidos en bombas de vacío de funcionamiento en seco, como bombas Roots o bombas de tornillo. Para los diferentes sistemas de plasma, existen bombas de vacío de funcionamiento en seco adecuadas, como bombas Roots o bombas de tornillo, que permiten realizar el correspondiente proceso con plasma.
En la práctica, sucede a menudo que estas bombas se contaminan con restos de fluidos durante una aplicación con plasma y, en consecuencia, el funcionamiento de la bomba de vacío se ve restringido.
La fuente para limpieza con plasma, desarrollada y producida por Diener electronic y en espera de concesión de patente, protege dichas bombas de vacío y limpia las cavidades.
La fuente para limpieza con plasma consta, principalmente, de conductos de alimentación y salida del gas del proceso hacia y desde la cavidad de la fuente y de un electrodo para la generación del plasma situado dentro o al lado de dicha cavidad. Las acumulaciones de suciedad de la cavidad pueden eliminarse en cualquier momento, o incluso evitarse de antemano. De este modo, queda garantizada una mayor vida útil de la bomba de vacío.
