Источники очистки
ПЛАЗМЕННЫЕ ИСТОЧНИКИ ОЧИСТКИ ОТ DIENER ELECTRONIC
Плазменный источник очистки – это опциональное устройство очистки отходящих газов для вакуумных насосов сухого хода (насосы Рутса и винтовые насосы).Для различных плазменных установок существуют подходящие вакуумные насосы сухого хода, например насосы Рутса и винтовые насосы, необходимые для проведения плазменного процесса.
На практике нередко случается, что эти насосы во время их использования для плазменной обработки загрязняются остатками жидкостей, что ограничивает работоспособность вакуумного насоса.
Плазменный источник очистки, разработанный, изготовленный и запатентованный компанией Diener electronic, обеспечивает защиту таких вакуумных насосов и очищает полости.
Плазменный источник очистки состоит из линий подачи и отвода технологического газа и электрода для генерирования плазмы, размещенного в полости или на полости. Конструкция позволяет удалять отложения в полости и/или предотвращать их возникновение. Это способствует увеличению срока службы вакуумного насоса.
