Fonti di pulizia
FONTI DI PULIZIA AL PLASMA DI DIENER ELECTRONIC
La fonte di pulizia al plasma è un sistema opzionale di depurazione dei gas di scarico per pompe per vuoto con funzionamento a secco, come le pompe rotative tipo "roots” o le pompe a vite. Per i diversi impianti al plasma sono disponibili idonee pompe per vuoto con funzionamento a secco come le pompe rotative tipo "roots” o le pompe a vite, per eseguire il corrispondente processo al plasma.
Nella prassi, accade sempre più spesso che queste pompe vengano contaminate da residui di liquido durante l'applicazione al plasma, per cui la pompa per vuoto è limitata nella sua funzione.
La fonte di pulizia al plasma, sviluppata, prodotta e brevettata da Diener electronic, funge da protezione per queste pompe per vuoto e offre il vantaggio di pulire le cavità.
La fonte di pulizia al plasma è costituita essenzialmente da alimentazione e trasferimento del gas di processo verso la cavità e da un elettrodo per la generazione di plasma, disposto all'interno o sulla cavità. I depositi nella cavità possono essere rimossi o evitati a priori. Si garantisce così una maggiore durata della pompa per vuoto.
