Sources de nettoyage
SOURCES DE NETTOYAGE PLASMA DE DIENER ELECTRONIC
La source de nettoyage au plasma est un traitement optionnel d'épuration des gaz d'échappement pour des pompes à vide fonctionnant à sec, telles que les pompes à lobe ou à vis.Des pompes à vide fonctionnant à sec, telles que des pompes à lobe ou à vis, sont disponibles pour les différents systèmes plasma, afin d'effectuer le processus plasma correspondant.
Dans la pratique, il arrive encore que ces pompes soient contaminées par des résidus de fluides lors d'une application plasma et que la pompe à vide soit donc limitée dans sa fonction.
La source de nettoyage plasma, développée, produite et brevetée par Diener electronic, constitue une protection pour ces pompes à vide et nettoie les cavités.
La source de nettoyage au plasma se compose essentiellement d'une entrée et d'une sortie de gaz de traitement dans la cavité et d'une électrode disposée dans ou sur la cavité pour la génération de plasma. Les dépôts dans la cavité peuvent être enlevés ou évités à tout moment. Ceci assure une longévité plus grande de la pompe à vide.
