Glosario de tecnología de superficies
Bomba de vacío ultraalto
El tipo de bomba más común en la tecnología de vacío y en la tecnología del plasma es la bomba rotativa de paletas, de funcionamiento mecánico y lubricada con aceite. Permite alcanzar presiones comprendidas entre la presión atmosférica y 10–3 mbar. Si debe generarse vacío ultraalto, por lo general se utiliza una bomba rotativa de paletas para crear vacío previo.