Pompe à ultravide

Le type de pompe le plus fréquemment utilisé non seulement dans la technologie du vide mais aussi celle du plasma est la pompe à palettes mécanique lubrifiée par huile. Elle permet l'obtention de pressions atmosphériques jusqu'à 10^-3 mbars. Lorsque de l'ultravide doit être généré, on utilise la plupart du temps une pompe à palettes pour générer le vide préliminaire.