Pompa per vuoto ultraelevato

Il tipo di pompa più comune nella tecnologia del vuoto e nella tecnologia del plasma è la pompa meccanica rotativa con palette lubrificate ad olio. In questo modo si possono ottenere pressioni da pressione atmosferica fino a 10^-3 mbar. Se si intende generare un vuoto ultraelevato, di solito si utilizza una pompa a palette rotativa per generare il vuoto di supporto.