Kammer

Als Kammer wird die Plasmakammer oder Rezipient bezeichnet, in der sich das Pozessgas im Niederdruck befindet. Die Kammer ist als Druckbehälter ausgelegt. Sie besteht aus einem Werkstoff, der durch die verwendeten Prozessgase nicht geätzt wird, häufig aus Edelstahl. Für einige Prozesse muss ein Rezipient aus hochreinem Quarzglas verwendet werden

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