Cámara

Con el término "cámara", se designa la cámara de plasma o el recipiente en el que se encuentra el gas del proceso a baja presión. La cámara está diseñada como recipiente presurizado. Se compone de un material resistente al grabado ejercido por los gases utilizados en el proceso; normalmente, acero inoxidable. Para algunos procesos, debe usarse un recipiente de vidrio de cuarzo de alta pureza.