Глоссарий технологии обработки поверхностей
Плотность плазмы
ионов в соотношении с неионизированными атомами или молекулами в плазме. В плазме никогда не ионизированы все атомы или молекулы. Это обусловлено тем, что параллельно с ионизацией постоянно происходит рекомбинация электронов и ионов.
Чем выше мощность возбуждения и ниже плотность газа, тем выше плотность плазмы.