Glossaire de la technologie de surface
Densité du plasma
Part des ions par rapport aux atomes ou molécules non ionisés dans un plasma. Dans un plasma, tous les atomes ou molécules ne sont pas ionisés parce qu'une recombinaison d'électrons et d'ions s'effectue parallèlement à l'ionisation.
Plus la puissance d'excitation est élevée, moins la densité de gaz est faible et plus la densité du plasma augmente.