Травление стекла

Стекло можно обрабатывать химическим травлением с использованием фтористоводородной кислоты, однако она очень ядовита и может вызвать тяжелые химические ожоги. Альтернативой является контролируемое травление стекла в плазме при использовании фторосодержащих технологических газов . При такой обработке отсутствует прямой контакт между едкими фтористыми соединениями и окружающей средой.