Glas ätzen

Glas kann chemisch mittels Flusssäure geätzt werden, die allerdings hochgiftig ist und folgenschwere Verätzungen verursachen kann. Alternativ ist ein kontrolliertes Ätzen von Glas auch im Plasma möglich, wenn fluorhaltige Prozessgase verwendet werden. Auf diese Weise findet kein direkter Kontakt zwischen den ätzenden Fluorverbindungen und der Umgebung statt.