Оксид алюминия

₂O₃ – твердый оксид, существующий в различных вариациях. Самой высокой твердостью обладает корунд. На поверхности алюминия при контакте с кислородом воздуха произвольно образуется тонкий прозрачный слой Al₂O₃, защищающий алюминий от последующего окисления. Этот оксидный слой и его защитное действие можно искусственно усилить за счет анодизации. Поверхности с Al₂O₃ поддаются травлению плазмой путем бомбардировки аргоном или с использованием галогеносодержащих газов.